物元半导体申请晶圆超声扫描装置及扫描方法专利，提升检测效率_资讯

物元半导体申请晶圆超声扫描装置及扫描方法专利，提升检测效率

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2026-02-10 22:50:30

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国家知识产权局信息显示，物元半导体技术（青岛）有限公司申请一项名为“晶圆超声扫描装置及扫描方法”的专利，公开号CN121476384A，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请提供一种晶圆超声扫描装置及扫描方法，扫描装置包括旋转机台、直线位移机构、超声扫描镜头和控制装置。旋转机台用于承载并吸附晶圆以带动晶圆旋转，直线位移机构架设在旋转机台上方，移动方向为y方向。超声扫描镜头安装于直线位移机构上并朝向旋转机台表面，扫描中心与旋转机台的旋转中心处于同一竖直平面。控制装置与旋转机台、直线位移机构和超声扫描镜头通信连接。控制装置控制旋转机台旋转并控制直线位移机构驱动镜头沿旋转机台径向移动，以使镜头相对旋转机台形成二维螺旋扫描路径或同心圆依次嵌套的扫描路径。本申请通过旋转机台与超声扫描镜头单向移动协同，消除镜头无效位移，提升检测效率，降低复杂度，提高检测可靠性。

天眼查资料显示，物元半导体技术（青岛）有限公司，成立于2022年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本52199.9997万人民币。通过天眼查大数据分析，物元半导体技术（青岛）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1次，专利信息148条，此外企业还拥有行政许可12个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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