截至13:20，中证半导体材料设备主题指数（931743）跌1.98%，权重股中，中微公司跌0.4%，北方华创跌2.3%，沪硅产业跌2.2%，华海清科跌1.3%，南大光电跌3.5%。此外，天岳先进涨1.8%，金海通涨1.3%，文一科技涨0.3%，芯源微涨0.1%。

半导体设备ETF易方达（159558）跟踪中证半导体材料设备主题指数，备受资金青睐，近5日吸金超2.4亿，近10日吸金超5.4亿，近20日吸金超24亿。

截至前一交易日，中证半导体材料设备主题指数（931743）近3月涨幅24.41%，近1年涨幅超84%。

国内首台套12英寸碳化硅晶锭减薄设备和衬底减薄设备近日成功发货，该设备由中电科电子装备集团旗下北京中电科公司自主研发，标志着国产设备在大尺寸碳化硅加工领域实现新突破。

兴业证券表示，国产半导体设备产业除遵循“技术周期”和“库存周期”驱动外，还受益于国产替代需求，且不仅在于本身各类半导体设备工艺环节的国产替代，还在于需求端芯片设计企业的国产替代，在于制造端逻辑、存储晶圆制造的国产替代。

半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数聚焦半导体设备与半导体材料领域，根据申万三级行业分类，指数半导体设备占比为63%，在国产化趋势中具备较强弹性。

半导体设备ETF易方达（159558）提供了一键布局这一高景气赛道的高效工具，在波动中把握产业趋势红利，值得中长期关注。场外投资者也可关注联接基金A/C（021893/ 021894）

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