鲁汶仪器取得晶圆传输腔室及半导体传输设备专利，可大大简化半导体传输设备结构_资讯

鲁汶仪器取得晶圆传输腔室及半导体传输设备专利，可大大简化半导体传输设备结构

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2026-02-03 12:49:55

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国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“一种晶圆传输腔室及半导体传输设备”的专利，授权公告号CN223872729U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆传输腔室及半导体传输设备，本申请实施例中，晶圆传输腔室能够与校准组件和换热组件适配安装，这样可以单独选择校准组件或换热组件安装于腔室本体，或者通过集成设计的校准组件和换热组件，实现校准功能或换热功能，即本申请实施例中晶圆传输腔室通过开启不同的功能组件，能够实现校准和换热两个功能，可以大大简化半导体传输设备的结构，为工艺腔室的布置提供空间，有利于提高半导体传输设备的生产能力。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目258次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息476条，此外企业还拥有行政许可14个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业显示投资鲁汶仪器设备传输导体组件专利腔室半导体晶圆

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