西湖仪器申请基于双电阻率探头协同作用的SiC晶锭检测方法专利,提高检测效率
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2026-01-28 17:41:35
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国家知识产权局信息显示,西湖仪器(杭州)技术有限公司申请一项名为“一种基于双电阻率探头协同作用的SiC晶锭检测方法、装置及应用”的专利,公开号CN121410061A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明涉及一种基于双电阻率探头协同作用的SiC晶锭检测方法、装置及应用,建立温度误差补偿模型,以水平载板放置待测晶锭,以运动组件完成水平载板的运动,依据预设规则设置2个获取分布式电阻率的电阻率探头,以温度误差补偿模型进行温度校正,获得当前标准晶锭的电阻率三维分布模型,获得待测晶锭检测结果。本发明利用侧向放置的电阻率探头补充晶锭边缘的电阻率分布,可以筛选出异常位置所在的深度,提高检测效率,高效、精准表征晶锭掺杂浓度,指导加工激光的聚焦深度、功率等参数的优化。

天眼查资料显示,西湖仪器(杭州)技术有限公司,成立于2021年,位于杭州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1315.779万人民币。通过天眼查大数据分析,西湖仪器(杭州)技术有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息48条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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