神州半导体申请等离子体源软启动功率控制专利,实现等离子体源功率平滑启动
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2026-01-24 22:16:31
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国家知识产权局信息显示,江苏神州半导体科技有限公司申请一项名为“等离子体源软启动功率控制方法、系统及设备”的专利,公开号CN121397846A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明公开了等离子体源软启动功率控制方法、系统及设备,涉及智能控制技术领域。方法包括:设定射频功率的初始额定值,作为启动时的参考功率;接收等离子体源点火控制器发出的工作模式,识别对应的功率控制配置类型;通过充放电电路产生渐升控制电压,驱动软启动引脚控制PWM脉冲宽度逐步增大,形成与工作模式匹配的激励输入信号;根据反馈功率与模式设定曲线进行比对,获得动态调节修正目标;基于动态调节修正目标进行功率调整控制,使得实际功率上升曲线与模式设定曲线一致。解决了现有技术中等离子体源在启动过程中功率上升控制不稳定,导致点火失败的技术问题,实现了等离子体源功率平滑启动、提高点火成功率及功率控制精度的技术效果。

天眼查资料显示,江苏神州半导体科技有限公司,成立于2016年,位于扬州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6600万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏神州半导体科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目33次,财产线索方面有商标信息28条,专利信息183条,此外企业还拥有行政许可25个。

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来源:市场资讯

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