一塔半导体取得外延设备载片盘专利，有效增强载片盘旋转能力_资讯

一塔半导体取得外延设备载片盘专利，有效增强载片盘旋转能力

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2026-01-20 22:44:50

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国家知识产权局信息显示，一塔半导体（安徽）有限公司取得一项名为“一种外延设备的载片盘及外延设备”的专利，授权公告号CN223813568U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种外延设备的载片盘及外延设备，所述载片盘的顶部从内向外依次包括载片平台、托环卡槽、周壁，所述托环卡槽夹设在所述载片平台、周壁之间，所述载片平台的高度高于所述周壁的高度，所述载片盘的底部包括至少3条弧形导气槽，所述弧形导气槽围绕所述载片盘的旋转中心轴线旋转对称。本申请载片盘的顶部设有载片平台、托环卡槽、周壁，在载片平台、周壁之间设有托环卡槽可以方便的将卡环固定在托环卡槽里，安装方便，同时载片盘的底部布设有至少3条弧形导气槽，所述弧形导气槽围绕所述载片盘的旋转中心轴线旋转对称，有效增强了载片盘旋转能力，载片盘的适应性能也得到了提高。

天眼查资料显示，一塔半导体（安徽）有限公司，成立于2024年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本613.33万人民币。通过天眼查大数据分析，一塔半导体（安徽）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息26条，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可2个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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