宇脉电子申请一种硅片清洗装置与清洗方法专利,能够使污染物被充分清洗,提高清洗效率
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2026-01-18 00:08:26
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国家知识产权局信息显示,广州宇脉电子科技有限公司申请一项名为“一种硅片清洗装置与清洗方法”的专利,公开号CN121358207A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明属于硅片加工技术领域,尤其涉及一种硅片清洗装置与清洗方法,一种硅片清洗装置,包括清洗箱,清洗箱内固接有多个竖杆,多个竖杆中位于左侧的两个竖杆之间滑动连接有一个移动座,位于右侧的两个竖杆之间滑动连接有另一个移动座,两个移动座之间连接有移动板,移动板上开设有多个固定槽,清洗箱内固接有多个气管,每个气管上均开设有多个气孔,清洗箱内连接有限制结构,限制结构能够使上浮气泡的初始体积减小,所述的一种硅片清洗装置用于清洗硅片的清洗方法,该方法包括以下步骤:步骤一:将硅片插入移动板的固定槽中,启动电动推杆推动夹板与辅助板共同夹紧硅片,能够使上浮气泡具有较小体积,使污染物被充分清洗,提高清洗效率。

天眼查资料显示,广州宇脉电子科技有限公司,成立于2014年,位于广州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,广州宇脉电子科技有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息46条,此外企业还拥有行政许可10个。

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来源:市场资讯

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