北方集成电路技术创新中心申请电容器结构及其制备方法专利，能够有效增加电容密度
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2026-01-17 21:08:39
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国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司申请一项名为“电容器结构及其制备方法”的专利，公开号CN121357908A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请公开了一种电容器结构及电容器结构的制备方法。该电容器结构包括：衬底；第1至第m个导电层，m为大于或等于3的整数；各导电层设有通孔组，通孔组包括多个通孔；其中，对于第n导电层、第(n+1)导电层以及第(n+2)导电层，n≥1，(n+2)≤m，第(n+1)导电层的通孔组在第n导电层上的正投影与第n导电层的通孔组间隔设置；第(n+2)导电层的通孔组的多个通孔在第n导电层上的正投影与第n导电层的通孔组的多个通孔一一对应重合。
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