上海朗矽申请硅电容及其制作方法专利,显著提升多层薄膜硅电容的电容密度
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2026-01-15 09:09:14
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国家知识产权局信息显示,上海朗矽科技有限公司申请一项名为“硅电容及其制作方法、电子器件”的专利,公开号CN121335187A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本公开提供了一种硅电容及其制作方法、电子器件,制作方法包括:获获取初始多层薄膜硅电容;基于初始多层薄膜硅电容得到多层深沟槽硅电容,基于多层深沟槽硅电容制作得到目标多层薄膜硅电容;相比于传统的单次只能蚀刻一个电极层和介质层,需形成台阶结构的多层硅电容制作方法,本公开硅电容的介质层层数不受限制,且每层介质层的面积得到有效提升,显著提升了多层薄膜硅电容的电容密度,且在一次刻蚀过程中可以同时刻蚀全部的电极层和介质层,在提升多层薄膜硅电容的电容密度的同时降低了制作成本,简化蚀刻工艺步骤,提高电容器的制作效率。

天眼查资料显示,上海朗矽科技有限公司,成立于2022年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本116.9591万人民币。通过天眼查大数据分析,上海朗矽科技有限公司共对外投资了1家企业,财产线索方面有商标信息4条,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可1个。

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来源:市场资讯

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