1月8日，中微公司一则简短公告在资本市场泛起涟漪：公司创始人、董事长兼总经理尹志尧因“已从外籍恢复为中国籍，为依法办理相关税务的需要”，计划减持不超过29万股公司股份，占公司总股本的0.046%。

这位被称为“中国刻蚀机之父”的半导体行业老兵，在完成技术回归20年后，终于完成了身份的回归。

国籍回归

中微公司这则减持公告在A股市场显得有些特别。与常见减持理由不同，尹志尧给出的“恢复中国籍”理由在资本市场极为罕见。

公开资料显示，尹志尧此次计划减持不超过29万股，占公司总股本0.046%。减持后，他持有的股权比例将从0.664%进一步降至0.62%。此前，他已累计减持套现超2.67亿元。

在中国高端半导体设备领域，中微公司已成为龙头企业。2024年，公司实现营收90.65亿元，同比增长44.7%。

尹志尧因从外籍恢复中国籍而减持股份，不仅是个体身份的转变，更是中国半导体产业自主发展历程中的一个缩影。

硅谷岁月

1944年出生的尹志尧，人生轨迹见证了中国半导体产业的曲折发展。1980年，36岁的他成为北京大学第二个自费出国留学生，赴美深造。

获得加州大学洛杉矶分校物理化学博士学位后，尹志尧进入硅谷，在英特尔中心研究开发部研发芯片，成为第一个进入英特尔的中国留学生。

在英特尔工作期间，尹志尧开始对设备产生浓厚兴趣。他认为“没有微观加工设备，就造不出芯片”。

凭借在英特尔对LAM公司设备的评价，尹志尧被LAM看中并聘用。在他的帮助下，LAM击败了应用材料公司，成为国际最强刻蚀机企业，市场占有率超过40%。

随后，应用材料公司也将他请了过去。在1991年至2004年间，尹志尧帮助应用材料公司研发成功了几种刻蚀机，使该公司刻蚀机业务也做到世界最大，国际市场份额超40%。

20年硅谷生涯，尹志尧参与了国际几代等离子体刻蚀机的研发，获得了86项美国专利和200多项各国专利，成为国际等离子体刻蚀技术发展和产业化的重要推动者。

回归之路

2004年，已功成名就的尹志尧决定回国。那一年，他60岁。

唤醒他内心深处报国情怀的是他的北京四中校友江上舟。时任上海经委副主任的江上舟是公认的“战略家”和“实干家”，他较早意识到半导体芯片是“国之重器”。

江上舟曾问尹志尧：“看来刻蚀机比原子弹还复杂，外国人用它来卡我们的脖子，我们能不能自己把它造出来？”尹志尧有些犹豫时，江上舟又说：“我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出命去也要为国家造出刻蚀机。我们一起干吧！”

尹志尧的家族早有回国报效的传统。他的祖父尹寿松、父亲尹怀莘，都曾在赴日留学后选择回国，为国家建设和民族工商业发展做出了贡献。

“给外国人做了这么多年嫁衣，是时候给祖国和人民做点贡献了。”尹志尧最终下定决心。

创业维艰

回国创业的尹志尧面临多重挑战。出境时，美国政府清查了他的电脑，没收所有工艺配方和设计图纸，还签订协议不能带走任何来自美国的设备技术。

融资也相当困难。除了上海提供的5000万启动资金，8个月的尝试最终还是融不到钱。尹志尧不得不回到美国寻求融资，最终获得了比预期多三倍的资金支持。

2007年6月，中微公司首台CCP刻蚀设备产品研制成功并运往客户。

产品刚刚面世，法律挑战接踵而至。2007年10月，前东家应用材料公司在美国法院以商业秘密侵权为由起诉中微及尹志尧等人。

中微公司聘用了美国一流律师，用两年半时间和2500万美元律师费，彻查了600万件内部文件，最终证明了自身清白，与应用材料公司和解。

随后，另一前东家LAM也在中国台湾起诉中微公司侵权。时机选择在中微公司设备刚要进驻中国台湾某大厂之前。中国台湾法院最终驳回了LAM的诉讼请求。

技术突围

在与国际巨头法律斗争的同时，中微公司的技术不断突破。尹志尧提出：“必须把目标定在赶超世界最先进水平，而不是补自己的短板再按照人家的路往前走。”

在这一理念指导下，中微公司开发出了独特的双台机技术。目前全球一流的芯片生产线上，已有600多个反应台使用了中微的双台机。

2024年，中微公司刻蚀设备贡献营收超过72亿元，同比增长54.7%。公司已覆盖约30%的集成电路高端设备市场，其中等离子体刻蚀机市场份额近20%。

中微公司的刻蚀设备技术能力已达到5纳米以及更先进工艺水平，可以全面取代国际先进设备。公司还率先提出了“皮米级”加工精度概念，其刻蚀精度已经达到100“皮米”以下水平，相当于人的头发丝350万分之一的精准度。

市场地位

自2021年起，在全球刻蚀设备市场，中微公司的市场份额位居第四位，前三名分别是泛林集团、东京电子和应用材料三家国际大厂。

这意味着，无论技术水平还是规模实力，中微公司都已达到国际先进水平。

中微公司实施三维立体发展战略：第一维度是在集成电路设备领域；第二维度是泛半导体设备；第三维度是外延扩展，培育产业链。

截至目前，中微公司已经斥资20多亿元，投资了40家公司，其中8家公司已经上市，包括中芯国际、天岳先进、拓荆科技等。

2019年7月22日，中微公司成功登陆科创板，成为首批上市的25家科创板公司之一。上市6年来，公司销售规模增长了5倍以上。

全员持股

虽然身为公司创始人，尹志尧在中微公司的持股比例仅为0.7%。这一比例在科技公司创始人中极为罕见。

尹志尧在中微公司内部推行“全员持股计划”。在公司上市市值达到1000亿时，直接创造了325名百万富翁、375名千万富翁以及50名亿万富翁。

“集成电路需要千百万人集成的努力，这个产业不是哪一个英雄可以创造出来的，而是千千万万的工程师和工人一起合作才能做起来的。”尹志尧曾这样解释他的理念。

尹志尧经常开玩笑称自己是“38岁的人”，这个说法源于2004年他刚回国时，出租车司机对他说：“您看起来只有38岁！”他爽朗地笑道：“太好了，以后我就是38岁的人。”

尽管取得了显著成就，尹志尧始终保持清醒。他曾坦言：“虽说我们在国内算是比较先进的了，但放在整个世界来看还是后起之秀。我们和世界相比，还是有全方位的差距。”

对于国产集成电路设备的未来，尹志尧认为并购整合将是必然趋势。“未来10年中国半导体设备公司的主流趋势是‘合在一起干’，最后可能有至少3家公司比较强。”

针对国产设备出海，尹志尧表示，中微公司目前在美国已经有几十个反应器在进行5纳米的生产。

“我相信再过五到十年，中国企业做得好的一些国产设备，一定会打开国际市场。”尹志尧对此充满信心。

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