东方晶源申请线圈组件控制系统专利，提高线圈组件聚集电子束能力的稳定性_资讯

东方晶源申请线圈组件控制系统专利，提高线圈组件聚集电子束能力的稳定性

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2026-01-11 01:08:49

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国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“线圈组件的控制系统、控制方法及半导体检测设备”的专利，公开号CN121306882A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本申请公开了一种线圈组件的控制系统、控制方法及半导体检测设备，控制系统包括：控制模块；可调电压源，可调电压源与线圈组件的第一端以及控制模块均电连接；反馈检测模块，反馈检测模块的第一端与线圈组件的第二端电连接，反馈检测模块的第二端与基准电压端电连接；控制系统被配置为：控制模块接收反馈检测模块反馈的经过线圈组件的电流信号，基于电流信号和目标电流值，调整可调电压源的输出电压，得到目标电压值，以使目标电压值满足为线圈组件提供的目标电流值的情况下，反馈检测模块的功耗在输出电压的调整过程中最小，反馈检测模块的功耗基于可调电压源的输出电压和目标电流值确定，上述方式能提高线圈组件聚集电子束的能力的稳定性。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息161条，专利信息388条，此外企业还拥有行政许可18个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资控制系统晶源检测线圈电子束电压模块组件电流电压源

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