中芯国际申请二维材料晶体管结构及其形成方法专利,提高半导体结构的性能
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2026-01-10 16:08:44
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国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“一种二维材料晶体管结构及其形成方法”的专利,公开号CN121310607A,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,一种二维材料晶体管结构,包括:基底,包括衬底;有源区,位于所述衬底上;沟道结构,包括凸起部以及覆盖所述凸起部的侧壁的沟道层,所述凸起部凸立于所述有源区的衬底的顶部,所述沟道层的材料包括二维材料;介电层,覆盖所述沟道层的侧壁;栅极结构,横跨所述沟道层,且覆盖所述沟道层的部分顶部和部分侧壁。由于沟道层覆盖在凸起部的侧壁,垂直于水平面,相较于在水平面形成的二维材料器件结构,垂直于水平面所形成的二维材料器件沟道宽度增大,通过沟道的载流子变多;同时,通过合理的设计,二维材料与金属间维持了良好的接触。因此,使用二维材料作为沟道材料,并覆盖于凸起部的侧壁,能够提高沟道的载流子迁移率,进而提高半导体结构的性能。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目129次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可446个。

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来源:市场资讯

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