华虹半导体申请半导体器件结构及其制备方法专利,降低了成本并提升了器件性能
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2026-01-02 12:09:25
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国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司、华虹半导体制造(无锡)有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“半导体器件结构及其制备方法”的专利,公开号CN121240493A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明公开了一种半导体器件结构及其制备方法,涉及半导体技术领域。该半导体器件结构包括LDMOS晶体管,其场板介质层为一复合结构,包括第一介质层以及设置在该第一介质层一部分上方的第二介质层,两者形成叠加结构。其制备方法包括:沉积第一介质层后,利用源/漏区光刻工艺对其图案化;再沉积第二介质层并图案化,以在LDMOS区域形成该叠加的厚场板介质层。本发明解决了高压LDMOS对厚介质层的需求与高密度逻辑电路小尺寸开口工艺之间的矛盾,且不增加额外光刻层次,可灵活形成多阶场板,降低了成本并提升了器件性能。

天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2944次,专利信息1961条,此外企业还拥有行政许可117个。

华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目376次,专利信息156条,此外企业还拥有行政许可229个。

上海华虹宏力半导体制造有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目929次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可429个。

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来源:市场资讯

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