盛美半导体取得薄膜沉积装置及方法专利提升薄膜均匀性_资讯

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2025-12-30 21:09:17

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国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备(上海)股份有限公司、盛美半导体设备韩国有限公司、清芯科技有限公司取得一项名为“薄膜沉积装置及薄膜沉积方法”的专利，授权公告号CN119433514B，申请日期为2023年8月。

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来源：市场资讯

市场投资清芯薄膜装置设备导体盛美需谨慎专利公告号半导体

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