上海原子启智申请用于半导体工艺的快速气体输送系统专利，提高工艺效率
创始人
2025-12-09 14:08:25
0次
国家知识产权局信息显示，上海原子启智半导体设备有限公司申请一项名为“用于半导体工艺的快速气体输送系统”的专利，公开号CN121065642A，申请日期为2025年6月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于半导体工艺的快速气体输送系统。具体地，本发明涉及一种用于半导体制造的ALE工艺系统的快速气体输送系统。该系统具有真空操作腔室，RF功率发生器和衬底基座，并且该系统利用了MFCs。这些MFCs处于训练模式和/或推理模式，来确保气体流量的精确控制。该系统无需设置传统气箱，而是利用改进的气体输送单元，来提高工艺效率和缩短循环周期。本发明还适用于ALE应用以外的其他刻蚀和沉积工艺系统。
天眼查资料显示，上海原子启智半导体设备有限公司，成立于2025年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1360.8696万人民币。通过天眼查大数据分析，上海原子启智半导体设备有限公司专利信息1条。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
北京航天微电申请基于混合结构的...
国家知识产权局信息显示，北京航天微电科技有限公司申请一项名为“一种基于混合结构的三次谐波抑制薄膜微带...
IGBT、普通三极管、MOS管...
在电力电子、工控、电源、新能源等领域，三极管、MOS管、IGBT是最常见的三种核心半导体器件，很多工...
武汉新芯申请半导体器件专利，提...
国家知识产权局信息显示，武汉新芯集成电路股份有限公司申请一项名为“半导体器件”的专利，公开号CN12...
3月11日御银股份（00217...
证券之星消息，御银股份3月11日涨停收盘，收盘价9.25元。该股于10点38分涨停，未打开涨停，截止...
世运电路：2025年6月泰国工...
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：贵司泰国基地不仅仅是国内产能的补充，更是贵司承接海外客户...
燕东微：国家集成电路基金累计减...
每经AI快讯，燕东微（SH 688172，收盘价：41.2元）3月11日晚间发布公告称，公司于近日收...
英飞凌申请具有反向旋转电路路径...
国家知识产权局信息显示，英飞凌科技奥地利有限公司申请一项名为“具有反向旋转电路路径的电路”的专利，公...
超级电容板块3月11日跌0.3...
证券之星消息，3月11日超级电容板块较上一交易日下跌0.31%，东阳光领跌。当日上证指数报收于413...
大东南：公司的电容膜及光学膜暂...
证券之星消息，大东南(002263)03月11日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。 投资者提问...
光轮智能完成10亿融资：新希望...
雷递网 乐天 3月11日 光轮智能完成10亿元A++及A+++轮融资。本轮融资引入多家产业场景方及财...