上海原子启智申请用于半导体工艺的快速气体输送系统专利，提高工艺效率_资讯

上海原子启智申请用于半导体工艺的快速气体输送系统专利，提高工艺效率

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2025-12-09 14:08:25

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国家知识产权局信息显示，上海原子启智半导体设备有限公司申请一项名为“用于半导体工艺的快速气体输送系统”的专利，公开号CN121065642A，申请日期为2025年6月。

专利摘要显示，本发明涉及一种用于半导体工艺的快速气体输送系统。具体地，本发明涉及一种用于半导体制造的ALE工艺系统的快速气体输送系统。该系统具有真空操作腔室，RF功率发生器和衬底基座，并且该系统利用了MFCs。这些MFCs处于训练模式和/或推理模式，来确保气体流量的精确控制。该系统无需设置传统气箱，而是利用改进的气体输送单元，来提高工艺效率和缩短循环周期。本发明还适用于ALE应用以外的其他刻蚀和沉积工艺系统。

天眼查资料显示，上海原子启智半导体设备有限公司，成立于2025年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1360.8696万人民币。通过天眼查大数据分析，上海原子启智半导体设备有限公司专利信息1条。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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