华索申请半导体加工用切割装置专利,解决现有装置复杂、占用空间及成本浪费问题
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2025-12-09 10:39:49
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国家知识产权局信息显示,华索(苏州)科技有限公司申请一项名为“一种半导体加工用切割装置”的专利,公开号CN121062044A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明公开了一种半导体加工用切割装置,涉及半导体加工技术领域。本发明包括机架,所述机架转动连接有支撑轴和承载盘,所述支撑轴与承载盘固定连接,所述承载盘转动连接有若干承片台,所述机架安装有平移装置、切割机构及载盘转动组件,所述承载盘安装有片台转动组件,所述机架安装有卡接组件。本发明通过平移装置驱动切割机构移动,完成承片台晶圆第一次切割;继而移动切割机构,同步由片台转动组件带动承片台转90度并经卡接组件限位;随后反向移动切割机构,完成垂直方向二次切割;最后继续反向移动,解除限位的同时由载盘转动组件驱动承载盘转至下一工位,解决了现有装置复杂、占用空间及成本浪费问题。

天眼查资料显示,华索(苏州)科技有限公司,成立于2020年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,华索(苏州)科技有限公司共对外投资了2家企业,专利信息8条,此外企业还拥有行政许可5个。

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来源:市场资讯

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