国家知识产权局信息显示,VEGA格里沙贝两合公司申请一项名为“电子振动传感器和用于操作这种传感器的方法”的专利,公开号CN121079578A,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,本发明涉及电子振动传感器(1),其包括:膜片(5),其能够振动;压电驱动器(3),其用于使所述膜片(5)振动并用于检测所述膜片(5)的振动;以及机械振动单元(11),其布置在所述膜片(5)上以用于将所述膜片(5)的振动传递到所述机械振动单元(11)周围的介质,其中,所述机械振动单元(11)的共振频率取决于所述机械振动单元周围的所述介质,其中,所述压电驱动器(3)具有至少一个压电元件(37)和用于与所述至少一个压电元件(37)电接触的电极,其中,所述驱动器(3)被构造为利用以保持间隔的方式围绕所述驱动器(3)的壳层(9)和绝缘的气体或液体填充物(7)来封装,其中,所述填充物(7)的电击穿场强大于3kV/mm。
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