北方华创申请进气系统及半导体工艺设备专利，避免工艺气体混合_资讯

北方华创申请进气系统及半导体工艺设备专利，避免工艺气体混合

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2025-12-08 12:38:00

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“进气系统及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121075947A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本申请提供一种半导体工艺设备及进气系统，进气系统包括第一进气管路、第二进气管路以及相位阀，第一进气管路和第二进气管路均与相位阀连通，相位阀包括第一输出通道和第二输出通道，第一输出通道和第二输出通道分别用于连接工艺腔室和排气装置；相位阀配置为处于第一相位和时，能够将两个进气管路分别与两个输出通道连通，第三相位位于第一相位和第二相位之间。进气系统通过相位阀实现气体切换，切换的过程中，相位阀需要经过第三相位，处于第三相位时，第一进气管路和第二进气管路均封闭，避免了两种工艺气体同时穿过连通通道造成的工艺气体混合的问题，也避免了混合气体对生产效率和产能的影响。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1280次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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