北方华创申请承载装置、工艺腔室及半导体工艺设备专利，显著降低温度检测的滞后性_资讯

北方华创申请承载装置、工艺腔室及半导体工艺设备专利，显著降低温度检测的滞后性

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2025-12-01 18:08:26

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置、工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121023453A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本申请公开了一种承载装置、工艺腔室及半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域。承载装置包括承载盘、射频电极和温度检测组件，承载盘具有用于承载晶圆的承载面；射频电极设置于承载盘内；温度检测组件的至少部分的检测端与承载面的间距小于射频电极背离承载面的一面与承载面的间距；在承载面至射频电极的方向上，射频电极的正投影避开温度检测组件的至少部分的检测端。该方案使得温度检测组件的至少部分的检测端靠近承载面，进而使得温度检测组件能够及时迅速地获取承载面的实际温度，从而可以显著降低温度检测的滞后性，使操作人员能够迅速地根据承载面的温度变化调整工艺参数，提高工艺的稳定性和产品质量。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1266次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业温度面的投资检测华创装置导体工艺专利射频电极承载面工艺腔室组件

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