上海高笙取得一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置专利，降温效果好_资讯

上海高笙取得一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置专利，降温效果好

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2025-11-27 15:36:34

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国家知识产权局信息显示，上海高笙集成电路设备有限公司取得一项名为“一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置”的专利，授权公告号CN 223595944 U，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置，其特征在于，包括主腔体和等离子发生器，所述主腔体内连接有多个用于引入氢气尾气的第一进气管，所述第一进气管的进口端周向布置且与主腔体的上部连通，所述主腔体的上部还连通有第三进气管，空气或氧气可经第三进气管进入主腔体内以助燃，所述主腔体的下部与水洗设备连通，所述主腔体外形成有风冷腔，所述风冷腔包括内腔和外腔，所述内腔环绕主腔体设置且向下开口，所述外腔设于内腔外且通过若干周向布置的第一通孔与内腔连通，所述外腔与第二进气管连通。本实用新型结构合理、降温效果好且降温均匀。

天眼查资料显示，上海高笙集成电路设备有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1700万人民币。通过天眼查大数据分析，上海高笙集成电路设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息124条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业高笙投资等离子上海处理燃烧导体尾气专利主腔进气管内腔外腔主腔体

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