华芯半导体申请容积校准方法、控制器及气体质量流量验证系统专利，满足半导体工艺对容积精度的要求_资讯

华芯半导体申请容积校准方法、控制器及气体质量流量验证系统专利，满足半导体工艺对容积精度的要求

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2025-11-25 21:12:19

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国家知识产权局信息显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请一项名为“一种容积校准方法、控制器及气体质量流量验证系统”的专利，公开号CN 121007621 A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本申请实施例涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种容积校准方法、控制器及气体质量流量验证系统，本申请实施例利用校准罐内目标摩尔的气体扩散至第二管路空间，在第二管路空间处于气体稳定状态下获取校准罐准确的第二容积校验参数，结合校准罐在第四阀门处于关闭状态下的第一容积校验参数、第一容积，计算出准确且精度高的第二管路空间的第二容积，以及利用校准罐内目标摩尔的气体扩散至目标管路空间，在目标管路空间处于气体稳定状态下获取校准罐准确的第三容积校验参数，结合校准罐在第四阀门处于关闭状态下的第一容积校验参数、第一容积，计算得到准确且精度高的第三管路空间的第三容积，满足半导体工艺对容积精度的要求。

天眼查资料显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2650万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市华芯半导体装备技术有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息14条，专利信息18条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业管路气体投资深圳市控制器华芯导体容积专利半导体校准罐

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