截至2025年10月23日 14点25分，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌0.96%。成分股方面涨跌互现，新益昌领涨2.40%，拓荆科技上涨2.33%，明志科技上涨1.05%；神工股份领跌5.34%，京仪装备下跌4.03%，晶升股份下跌3.95%。科创半导体ETF（588170）下跌1.08%。

10月22日晚间，中巨芯发布2025年第三季度报告。单季度来看，中巨芯第三季度营收为3.14亿元，同比增长12.76%；归母净利润为1707.17万元，同比增长152.24%。 中巨芯在公告中表示，第三季度业绩变化主要系通过持续的市场开拓和工艺技术优化，浙江基地电子特种气体二期和华中基地电子湿化学品产品产销量稳步提升，毛利总额相较去年同期有所提升。

上海证券指出，在AI浪潮和国产替代大背景下，国内先进产线未来扩产需求持续存在，半导体设备作为晶圆代工扩张的基石，同时是实现产业链自主可控的重要环节，国产半导体设备厂家迎发展机遇，随着国产厂家研发和技术不断提升，有望逐步渗透高端设备领域，关注半导体前后道设备和相关设备零部件企业。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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