中科飞测获得发明专利授权：“一种角度测量方法及半导体测量装置”_资讯

中科飞测获得发明专利授权：“一种角度测量方法及半导体测量装置”

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2026-09-11 08:47:10

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种角度测量方法及半导体测量装置”，专利申请号为CN202510886303.6，授权日为2026年9月4日。

专利摘要：本申请公开了一种角度测量方法及半导体测量装置，首先获取目标在衬底中整体分布区域的图像数据以及在各个目标上具备代表性和一致性的预设点，然后分别以每个预设点为中心，在图像数据中确定固定尺寸的切片图像，并计算相邻切片图像的偏移值，之后基于偏移值对预设点的坐标进行调整，得到目标点，使得这些目标点能够精准地反映目标上相对位置的一致性，最后对目标点进行直线拟合，并确定拟合直线与理想排列方向之间的夹角，实现了高精度的角度计算，并且该种角度测量方法针对不同尺寸的衬底，以及目标在衬底中的整体分布区域不同的情况，均具有更好的稳定性，为制造工艺的精度和产品质量的稳定性提供了坚实的技术支撑。

今年以来中科飞测新获得专利授权64个，较去年同期增加了23.08%。结合公司2026年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.81亿元，同比增33.55%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目398次；财产线索方面有商标信息383条，专利信息1141条，著作权信息45条；此外企业还拥有行政许可45个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，不构成投资建议。

数据信息角度目标天眼测量图像导体查大专利预设点中科飞测衬底

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