先导微电子取得衬底片存储盒专利,保证存储腔内液体的压力
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2026-09-08 09:25:36
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国家知识产权局信息显示,广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种衬底片存储盒”的专利,授权公告号CN224727379U,申请日期为2025年7月。

专利摘要显示,本申请实施例提供的衬底片存储盒,涉及半导体衬底材料制造技术领域,包括:壳体组件,包括相互配合的第一壳体和第二壳体,所述第一壳体和所述第二壳体围合有存储腔,其中,所述第一壳体内设置有支撑部,所述支撑部用于支撑衬底片,所述第一壳体和第二壳体的至少一者设有安装孔;单向阀结构,安装于所述安装孔,所述单向阀结构用于使流体由所述存储腔外部单向流入所述存储腔。本申请实施例中,可以使存储腔重新形成封闭结构,从而保证存储腔内液体的压力。本申请的实施例中,可以使衬底片浸泡在液体中,且安装孔的开启和关闭均通过外部管路的液体压力与单向阀结构配合实现,可以简化向存储腔内加压的步骤。

天眼查资料显示,广东先导微电子科技有限公司,成立于2020年,位于清远市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本120104.63万人民币。通过天眼查大数据分析,广东先导微电子科技有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目43次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息559条,此外企业还拥有行政许可199个。

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来源:市场资讯

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