晶域芯创申请基于阻抗前馈预测的MPCVD微波电源自适应稳功率控制方法及系统专利，显著抑制了点火反射尖峰_资讯

晶域芯创申请基于阻抗前馈预测的MPCVD微波电源自适应稳功率控制方法及系统专利，显著抑制了点火反射尖峰

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2026-09-05 20:54:43

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国家知识产权局信息显示，晶域芯创半导体设备（佛山）有限公司申请一项名为“一种基于阻抗前馈预测的MPCVD微波电源自适应稳功率控制方法及系统”的专利，公开号CN122690958A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本发明涉及一种基于阻抗前馈预测的MPCVD微波电源自适应稳功率控制方法及系统，属于微波等离子体技术领域。该方法实时检测负载复阻抗及其变化率，利用时间序列预测模型获得未来时刻的负载阻抗及反射系数预测值，并据此计算前馈补偿控制量；同时采集实际输出功率获得反馈控制量，将两者按自适应加权融合规则生成总控制量，驱动微波电源功率调节单元；还根据MPCVD不同工艺阶段动态调整预测步长、前馈增益及反馈控制器参数，并将阻抗预测信息反馈至工艺控制器以优化气压和温度设定。显著抑制了点火反射尖峰，提高了功率稳定性和工艺一致性，减少了阻抗匹配器的动作频率，提升了MPCVD设备的可靠性和薄膜制备质量。

天眼查资料显示，晶域芯创半导体设备（佛山）有限公司，成立于2026年，位于佛山市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，晶域芯创半导体设备（佛山）有限公司专利信息3条。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

尖峰功率控制电源预测微波反射工艺阻抗专利控制量晶域芯

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