北方华创申请液源装置以及半导体工艺设备专利，降低液位检测件的检测误差_资讯

北方华创申请液源装置以及半导体工艺设备专利，降低液位检测件的检测误差

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2026-09-05 19:54:12

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“液源装置以及半导体工艺设备”的专利，公开号CN122687163A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本发明提供一种液源装置以及半导体工艺设备。其中，液源装置包括：液源瓶；液位检测件，其位于液源瓶内，用于检测与其外周面接触的液面高度，液位检测件具有多个检测位置；匀流筒，其套设于液位检测件的外部，匀流筒上具有第一开口和第二开口，第一开口的位置高于液位检测件的最高检测位置，第二开口底端的高度低于液位检测件的最低检测位置。本发明利用匀流筒缓冲液面的波动，以使匀流筒内部液面的波动幅度可以远小于匀流筒外部液面的波动度，甚至匀流筒内部不会发生波动，进而降低液位检测件的检测误差。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1500次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5930条，此外企业还拥有行政许可341个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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