上证报中国证券网讯(记者 李兴彩)8月31日至9月2日,第十四届(2026年)中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨展览会(CSEAC 2026)在无锡太湖国际博览中心举行。作为半导体电真空器件领域的主要零部件厂商,国力电子携真空电容器、高压继电器、大功率磁控管等半导体真空电子核心产品参展。
国力电子相关人士对上海证券报记者介绍,公司三大核心产品均具备对标国际先进水平的性能优势:真空电容器作为射频匹配网络的关键调谐元件,全系列产品覆盖皮法级至纳法级,在400KHz至100MHz半导体业内常用频段均能实现低损耗、高Q值与高精度动态调节,容值稳定性接近零温漂,耐压等级最高达几十千伏;高压继电器依托陶瓷真空密封技术,介质耐压、隔离度与切换可靠性表现突出;大功率连续波磁控管已切入MPCVD设备等前沿应用场景。凭借陶瓷-金属封接、射频设计、精密制造等十几门交叉学科的关键工艺自制能力,公司产品已获得国内外头部半导体设备厂商及部件厂商的批量认证,进入量产阶段;其中,真空电容器在先进刻蚀设备上的上机运行时间已超过3年,经受了产线长时间、严要求的工艺工况的持续检验,半导体相关业务近年保持高速同比增长。
当前,全球半导体产业处于AI算力驱动的扩张周期,产业链各环节对关键零部件的需求进一步增强。刻蚀、薄膜沉积、离子注入等前道设备所需的真空电容器、高压继电器、大功率磁控管等电真空核心器件,供应链路长期由海外寡头厂商主导,叠加客户验证周期长、稳定性、一致性、可靠性要求高等特征,正成为国产设备供应链建设的重点。
国力电子表示,公司正以60年电真空工艺底蕴和20余年半导体应用研发积累,从“单点突破”迈向“批量稳定可靠交付”,助力中国半导体装备产业加速发展。