浙江蓝创光电申请晶圆边缘抛光装置及抛光方法专利，大幅缩短了晶圆抛光周期_资讯

浙江蓝创光电申请晶圆边缘抛光装置及抛光方法专利，大幅缩短了晶圆抛光周期

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2026-09-04 18:23:59

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国家知识产权局信息显示，浙江蓝创光电科技有限公司申请一项名为“一种晶圆边缘抛光装置及抛光方法”的专利，公开号CN122683604A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明涉及光波导晶圆抛光技术领域，公开了一种晶圆边缘抛光装置，包括夹板，所述夹板设有两组，导向座；移动台；粗磨轮和细磨轮，所述箱体上的两组凵型板上分别安装粗磨轮和细磨轮；调平机构，所述粗磨轮和细磨轮上均设有调平机构；驱动件三，所述驱动件三安装在底座上，驱动件三用于驱动四组移动台同步移动。本发明通过在同一移动台上设置粗磨轮和细磨轮，并利用驱动件二实现两者的快速切换，配合驱动件三驱动四组移动台同步移动，使粗抛和细抛可在同一装置上连续完成，无需工位转换和重复装夹，避免了累计定位误差对抛光精度的影响，同时大幅缩短了晶圆抛光周期，提高了生产效率。

天眼查资料显示，浙江蓝创光电科技有限公司，成立于2024年，位于嘉兴市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本35000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江蓝创光电科技有限公司参与招投标项目9次，专利信息9条，此外企业还拥有行政许可14个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业方法显示抛光移动驱动装置蓝创边缘专利驱动件浙江蓝创光电晶圆

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