重庆奕能科技申请肖特基势垒二极管制备方法专利,解决现有工艺高温退火导致杂质二次扩散问题
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2026-09-04 14:23:17
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国家知识产权局信息显示,重庆奕能科技有限公司申请一项名为“肖特基势垒二极管的制备方法及肖特基势垒二极管”的专利,公开号CN122699320A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本申请实施例提供了一种肖特基势垒二极管的制备方法及肖特基势垒二极管,该方法包括:在晶圆的第一表面淀积肖特基金属层;预设温度下在所述肖特基金属层的表面淀积第一金属层;对所述晶圆边缘的所述第一金属层进行刻蚀,形成刻蚀区;在所述第一金属层以及所述刻蚀区淀积隔离层;所述隔离层上形成有接触孔;在形成有所述接触孔的所述隔离层上淀积第二金属层。本申请实施例的肖特基势垒二极管的制备方法,解决了现有技术中肖特基接触的制备工艺需要经过高温退火,不仅制造流程复杂,且注入的杂质经过退火工艺后,可能发生二次扩散,影响电学特性以及晶圆的平坦性的问题。

天眼查资料显示,重庆奕能科技有限公司,成立于2023年,位于重庆市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1457.1428万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆奕能科技有限公司共对外投资了3家企业,财产线索方面有商标信息2条,专利信息87条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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