近日，聚光科技（300203）正式宣布成立半导体事业部，以独立事业部建制统筹研发、产品、应用、市场与服务资源，全面聚焦半导体行业检测需求，加快构建覆盖材料质量、制程环境与厂务安全的多场景检测与监测解决方案。值得关注的是，聚光科技旗下谱育科技EXPEC 7350S系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS/MS）已通过国内头部芯片制造企业严苛验证，核心痕量元素检测指标与进口品牌参考设备保持良好一致性，国产高端检测仪器在半导体核心制程环节取得关键突破。

战略进阶：从单点突破到系统化布局

聚光科技此次成立半导体事业部，并非一次简单的组织架构调整，而是公司在半导体检测领域历经多年技术沉淀、产品迭代与客户验证后的重要战略部署。事业部将以独立建制全面整合内部资源，加快构建覆盖材料质量、制程环境与厂务安全的多场景检测与监测解决方案。

公司表示，半导体事业部将建立面向半导体客户的统一接口与协同机制，推动研发、产品、应用、市场和服务围绕客户需求高效协同，让真实制造需求更快进入研发体系，让技术成果更快转化为应用方案。

技术突破：国产质谱仪通过头部芯片厂严苛验证

半导体制造对检测设备的精度与稳定性要求极为苛刻。晶圆制造使用的高纯湿化学品，所有杂质元素均处于超痕量ppt级别，目标信号极其微弱，基体复杂多变，空气、试剂、容器和管路带来的细微污染均可能影响检测结果。真正的技术难点，在于复杂基体、多批次样品和长期运行中持续保持低本底、准确性与稳定性。

近期，聚光科技旗下谱育科技EXPEC 7350S系列ICP-MS/MS在国内某头部芯片制造企业完成多轮深度技术磋商与数据比对。本次验收涉及制程中20余种高纯湿化学品的杂质检测，全面覆盖高纯酸、碱、有机等典型化学品，其中硫酸等高黏度、高基体样品对进样系统、背景控制、抗干扰能力和长期稳定性提出了更高要求。

经过持续的方法开发、样品测试和多轮平行比对，核心痕量元素比对测试通过客户验证，关键指标达到要求，测试结果与客户现有进口品牌参考设备保持良好一致性，不仅验证了一台仪器的性能，更检验了应用方法、现场工程与技术服务能力的综合水平。

“三位一体”：贯通半导体制造关键场景

严苛验证的背后，是聚光科技及旗下谱育科技在高端质谱、气体监测、在线分析与自动化等领域的长期积累。目前，公司已形成以痕量元素污染检测、洁净室气态分子污染物（AMC）监测和厂务特气安全侦测为核心的“三位一体”业务布局：

在材料端，ICP-MS/MS已用于硅片、碳化硅衬底及高纯试剂质量监控，为半导体材料国产化提供精密检测支撑；

在制程环境端，微污染气体监测系统已进入国内晶圆厂，持续监测酸性、碱性及挥发性有机物（VOCs）等气态分子污染物，保障制程环境洁净度；

在厂务端，半导体气体探测器已应用于12英寸集成电路制造基地，为电子特气泄漏侦测提供技术支撑，筑牢安全生产防线。

聚光科技半导体“三位一体”业务布局

图片来源：聚光科技微信公众号

聚光科技的差异化优势，并非简单叠加三类产品，而是以同一专业化体系覆盖实验室超痕量分析、洁净室连续在线监测和厂务特气安全侦测，贯通材料质量、制程环境与安全运行等半导体制造关键场景。

加速国产替代：以专业化组织服务产业需求

从长期积累到组织跃升，从严苛验证到持续应用，聚光科技正以更聚焦的投入、更完整的能力和更快速的响应，全面发力半导体检测国产化。战略进阶的背后，是聚光科技整体经营质量的显著改善与高端仪器业务的强劲动能。

据公司8月24日披露的2026年半年报，上半年聚光科技实现营业收入12.44亿元，其中第二季度实现营收8.33亿元，同比增长11.53%，环比大增103.01%，营收边际改善明显。尤为亮眼的是，公司经营活动产生的现金流量净额达7012.34万元，较上年同期大幅改善161.98%，实现正向流入，现金流质量显著提升，为半导体等新业务板块的持续投入提供了坚实的财务支撑。

当前，半导体产业链自主可控进程加速，高端检测与监测设备的国产化替代需求日益迫切。随着半导体事业部的正式运营，聚光科技有望在半导体精密检测赛道打开新的增长空间，与中国半导体产业共同成长。