谷东智能申请基于基底替换的湿态光敏膜层厚度实时检测方法专利,实现了非接触、无损的湿态膜层厚度检测
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2026-09-01 13:55:50
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国家知识产权局信息显示,广东谷东智能科技有限公司申请一项名为“一种基于基底替换的湿态光敏膜层厚度实时检测方法”的专利,公开号CN122670746A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本申请公开了一种基于基底替换的湿态光敏膜层厚度实时检测方法,包括提供折射率与待测光敏涂层材料折射率之差的绝对值不小于0.5的标定基底,对其进行表面能调控处理使光敏涂层材料在标定基底与生产用基底表面的接触角之差不超过15°;采用与生产工艺相同的沉积参数在标定基底表面沉积光敏涂层材料形成湿态光敏膜层;在有效沉积区域内按等间距矩阵布置测量点,采用传输矩阵法单层膜模型对反射光谱进行最小二乘拟合获得各点膜厚值;对膜厚值统计处理获得膜厚均值和二维厚度分布图。本方法通过基底替换解决了生产用基底与光敏涂层材料折射率相近导致界面反射信号缺失而无法光学测量的问题,实现了非接触、无损的湿态膜层厚度检测。

天眼查资料显示,广东谷东智能科技有限公司,成立于2019年,位于广州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本584.7954万人民币。通过天眼查大数据分析,广东谷东智能科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息216条,此外企业还拥有行政许可7个。

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来源:市场资讯

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