北方集成电路技术创新中心取得半导体设备专利，降低副产物在传输通道中大量聚集的概率_资讯

北方集成电路技术创新中心取得半导体设备专利，降低副产物在传输通道中大量聚集的概率

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2026-08-28 22:28:09

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国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司取得一项名为“半导体设备”的专利，授权公告号CN224698251U，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，一种半导体设备，包括：真空传输腔室，用于在真空环境下传输晶圆；至少一个反应腔室，用于对来自真空传输腔室的晶圆进行工艺处理；传输通道，设置在真空传输腔室与反应腔室之间，用于供晶圆在真空传输腔室与反应腔室之间进行传输；至少一个喷嘴，设置在传输通道上且与传输通道相连通，喷嘴用于向传输通道内喷气以引入清洁气体；本实施例中，由于在传输通道上设置有喷嘴，且喷嘴与传输通道相连通，便于半导体设备通过喷嘴向传输通道内喷入清洁气体，从而对传输通道的内壁进行清理，进而降低副产物(例如，聚合物、水汽等)在传输通道中大量聚集的概率。

天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息691条，此外企业还拥有行政许可126个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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