重庆芯联微电子申请LDMOS器件及其制备方法专利,进一步提高器件的击穿电压
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2026-08-28 16:52:47
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国家知识产权局信息显示,重庆芯联微电子有限公司申请一项名为“一种LDMOS器件及其制备方法”的专利,公开号CN122662224A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本发明提供一种LDMOS器件及其制备方法,通过在侧墙工艺中增加一道光罩,保留第一场板的上方的部分侧墙材料以形成第二场板,并于第二场板上形成第三场板,第一场板、第二场板及第三场板形成阶梯场板,由此形成三层不同厚度的场板结构。进一步的,在第一场板及第二场板的表面形成第一接触孔,阶梯场板通过第一接触孔与源极电性连接,构成第一复合场板;同时在栅极的表面形成第二接触孔,使栅极下方的第一场板通过第二接触孔电性连接,构成第二复合场板。本发明能够有效简化制备工艺流程、拓宽工艺适配窗口,提高器件良率,同时充分发挥阶梯场板的结构优势,进一步提高器件的击穿电压,改善其电学性能。

天眼查资料显示,重庆芯联微电子有限公司,成立于2023年,位于重庆市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本870000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆芯联微电子有限公司参与招投标项目994次,专利信息397条,此外企业还拥有行政许可13个。

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来源:市场资讯

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