国家知识产权局信息显示,无锡凌思科技有限公司申请一项名为“一种优化锚点设计的MEMS结构及MEMS传感器”的专利,公开号CN122585932A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明公开了一种优化锚点设计的MEMS结构及MEMS传感器,包括结构锚点、弹性梁组、可动质量块、差分电容组、Cap层、Sub层;其中,结构锚点包括三组敏感结构锚点和对应三组敏感结构锚点的引线锚点,敏感结构锚点与引线锚点通过弹性梁组连接;第一组和第三组敏感结构锚点分别通过差分电容组与可动质量块连接,第二组敏感结构锚点通过弹性梁组与可动质量块连接;敏感结构锚点与Cap层锚接、与Sub层无锚接,引线锚点与Cap层锚接、与Sub层锚接。本发明将MEMS可动结构悬空,有效阻断了封装应力向MEMS锚点的直接传递路径,应力需经更曲折的路径传递,传递距离显著增加,使得最终作用于MEMS锚点的应力大幅衰减。
天眼查资料显示,无锡凌思科技有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本556.8759万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡凌思科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可14个。
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