北方华创申请阀门及半导体工艺设备专利，提高阀门叶片的关死可靠性_资讯

北方华创申请阀门及半导体工艺设备专利，提高阀门叶片的关死可靠性

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2026-08-19 01:22:36

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“阀门及半导体工艺设备”的专利，公开号CN122590023A，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，本申请提供一种阀门及半导体工艺设备，阀门包括阀体，设有阀门通道；叶片组件，可转动地设置在阀体上以开闭阀门通道；压紧件，与处于关死位置的叶片组件平行设置，压紧件能够沿阀门通道的轴线方向移动以驱使叶片组件向关死位置转动并将叶片组件压紧在关死位置；移动机构，用于驱动压紧件沿阀门通道的轴线方向移动，移动机构与压紧件连接。应用时，当发生叶片组件转动到关死位置不到位时，通过移动机构驱动压紧件沿阀门通道的轴线方向移动；压紧件能够驱使叶片组件向关死位置转动并将叶片组件压紧在关死位置；故提高了阀门叶片的关死可靠性，进而提升了工艺结果，同时能减少因叶片未关死出现气体泄漏而导致的密封圈腐蚀，进而降低维护检修成本。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1479次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5904条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资华创阀门位置叶片通道导体组件专利紧件轴线

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