东微电子取得一种末端执行装置专利，有效防止晶圆偏移、滑落
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2026-08-18 09:51:06
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国家知识产权局信息显示，厦门东微电子装备有限公司取得一项名为“一种末端执行装置”的专利，授权公告号CN224653978U，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种末端执行装置，包括:基板；夹紧组件，包括置于所述基板外侧的至少3个支撑臂、设置在所述支撑臂末端的定位块、用于转动所述支撑臂的驱动件一；所述驱动件作用在所述支撑臂首端；执行单元，包括推动块、作用于所述推动块的驱动件二；基体，用于所述执行单元的放置；采用至少 3 个支撑臂对称分布设计，配合推动块的二次加固，实现对晶圆的多点均匀夹持，有效防止晶圆偏移、滑落，保障夹持稳定性，并且驱动件一通过控制器实现同步控制，以针对晶圆尺寸进行调整。
天眼查资料显示，厦门东微电子装备有限公司，成立于2024年，位于厦门市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门东微电子装备有限公司参与招投标项目1次，专利信息7条。
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