量伙半导体申请RTP退火炉高温计探头温度反馈高度自适应控制方法专利，抑制振荡累积_资讯

量伙半导体申请RTP退火炉高温计探头温度反馈高度自适应控制方法专利，抑制振荡累积

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2026-08-18 00:19:12

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国家知识产权局信息显示，量伙半导体设备（上海）有限公司申请一项名为“RTP退火炉高温计探头温度反馈高度自适应控制方法”的专利，公开号CN122564257A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明公开了RTP退火炉高温计探头温度反馈高度自适应控制方法，涉及半导体制造设备技术领域，包括以下步骤：采集温度随时间推进的连续变化数据，并记录温度调节动作的触发时间序列，将温度变化节奏与调节触发节奏进行对应整理，得到节奏对应关系。本发明通过解析温度变化节奏与调节触发节奏之间的时间对应关系，识别节奏偏移与锁定状态，并对调节触发节奏进行动态调整，使调节行为在时间维度上与温度变化形成匹配关系，从而避免调节动作在同一温度波动区间内重复叠加，抑制振荡累积；同时通过触发时间间隔的错位重构，打破同步叠加关系，使温度变化过程保持稳定收敛并提升整体控制精度。

天眼查资料显示，量伙半导体设备（上海）有限公司，成立于2018年，位于上海市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本1010万人民币。通过天眼查大数据分析，量伙半导体设备（上海）有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息33条，此外企业还拥有行政许可1个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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