新昇半导体申请一种游星轮专利，确保硅片边缘受力均匀提升几何参数均匀性_资讯

新昇半导体申请一种游星轮专利，确保硅片边缘受力均匀提升几何参数均匀性

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2026-08-17 21:47:39

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国家知识产权局信息显示，上海新昇半导体科技有限公司申请一项名为“一种游星轮”的专利，公开号CN122559883A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本申请提供一种游星轮，属于半导体制造技术领域。该游星轮包括：轮盘本体、至少一个工件孔和内衬；工件孔贯穿轮盘本体；内衬沿工件孔的内侧壁设置；其中，工件孔的内侧壁与内衬的外侧壁的接触面之间设置有限位结构，限位结构用于限制内衬沿工件孔的轴向及径向移动。该游星轮在抛光过程中可防止内衬受挤压而产生轴向翘起或下沉，确保内衬与轮盘本体在厚度方向上共面，保持表面平坦一致性，从而使硅片边缘受力均匀，提升边缘几何参数的均匀性。

天眼查资料显示，上海新昇半导体科技有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本238000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新昇半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目2114次，财产线索方面有商标信息14条，专利信息793条，此外企业还拥有行政许可241个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业显示投资上海半导体工件本体硅片边缘专利轮盘内衬游星轮

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