国家知识产权局信息显示,福建阿石创新材料股份有限公司申请一项名为“一种多元掺杂低电阻、易烧结氧化锌靶材及其制备方法”的专利,公开号CN122562517A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明属于氧化物靶材料技术领域,更具体的说是涉及一种多元掺杂低电阻、易烧结氧化锌靶材及其制备方法。本发明提供的氧化锌靶材原料包括:氧化锌、氧化铝、氧化镓、氧化钛、氧化锆和五氧化二钒,通过高价态掺杂与液相烧结的协同作用,同时实现电阻率的显著降低和烧结温度的明显下降。
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来源:市场资讯