甬矽电子获得实用新型专利授权：“晶圆加热治具和涂覆设备”_资讯

甬矽电子获得实用新型专利授权：“晶圆加热治具和涂覆设备”

创始人

2026-07-26 00:56:08

0次

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示甬矽电子（688362）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆加热治具和涂覆设备”，专利申请号为CN202521628606.X，授权日为2026年7月10日。

专利摘要：本申请提供的一种晶圆加热治具和涂覆设备，涉及半导体设备技术领域。该晶圆加热治具包括基座、支撑架和盖体，基座用于安装加热装置。支撑架和基座连接，支撑架上开设有导热孔。支撑架和基座中的至少一者与盖体连接。盖体远离基座的一侧设有放置槽，放置槽用于放置晶圆，放置槽和导热孔的位置相对应。该晶圆加热治具可提高加热效率，以及起到隔热作用，防止盖体的放置槽以外的区域过度受热膨胀而挤压晶圆。

今年以来甬矽电子新获得专利授权27个，较去年同期减少了37.21%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比增34.55%。

通过天眼查大数据分析，甬矽电子（宁波）股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目41次；财产线索方面有商标信息169条，专利信息463条，著作权信息15条；此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，不构成投资建议。

甬矽电子获得实用新型专利授权：“晶圆加热治具和涂覆设备”

相关内容

热门资讯