先导微电子取得半导体晶体生长尾气回收装置专利,避免了红磷自燃而产生爆炸
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2026-07-23 05:18:05
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国家知识产权局信息显示,广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种半导体晶体生长尾气回收装置”的专利,授权公告号CN224530979U,申请日期为2025年6月。

专利摘要显示,本实用新型涉及晶体生长技术领域,公开了一种半导体晶体生长尾气回收装置,包括通过管道依次连接的冷却组件、残留气回收组件和废气处理组件,所述冷却组件上设有进气管,所述进气管的另一端用于连接半导体晶体生长用石英管,实现将石英管内排出的砷或者红磷气体导入所述冷却组件进行冷却,以使砷或红磷蒸气凝固成固体颗粒,所述残留气回收组件用于将所述冷却组件内未完全冷却的砷或者红磷气体进行化学反应回收,所述废气处理组件用于吸收所述残留气回收组件内排出的废气。本申请的装置,不仅实现了对砷与红磷的回收,而且直接冷却回收,不会产生高温,避免了红磷自燃而产生爆炸,提高了安全系数,同时也避免了环境污染。

天眼查资料显示,广东先导微电子科技有限公司,成立于2020年,位于清远市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本59292.16万人民币。通过天眼查大数据分析,广东先导微电子科技有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目42次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息546条,此外企业还拥有行政许可199个。

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来源:市场资讯

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