华微电子获得实用新型专利授权:“一种高压测试吸盘”
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2026-07-17 20:31:28
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华微电子(600360)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种高压测试吸盘”,专利申请号为CN202520947483.X,授权日为2026年7月17日。

专利摘要:本实用新型提出一种高压测试吸盘,涉及半导体晶圆测试技术领域,与晶圆、真空泵和气泵配合使用,包括上腔体和下腔体,所述上腔体与下腔体通过方形卡扣卡接固定,所述上腔体与气泵通过柔性管路固定连接,所述下腔体通过柔性管路与真空泵固定连接,上下两套腔体可以组合使用,在不测试高压产品时可以单独使用下腔体,下腔体和上腔体之间设计的卡扣是方形的,连接后不会因吹气发生水平方向旋转,上腔体内壁设有小孔,氮气从腔体内壁侧向喷洒到晶圆表面,形成保护气膜,保护气体是采用氮气携带电子氟化液形成组合保护气体,解决氟化液喷洒不均的问题,杜绝晶圆因受力不均翘边及飞片现象,提高了晶圆测试成品率。

今年以来华微电子新获得专利授权21个,较去年同期减少了19.23%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了1.37亿元,同比增9.47%。

通过天眼查大数据分析,吉林华微电子股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目166次;财产线索方面有商标信息10条,专利信息292条,著作权信息6条;此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源:天眼查APP

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