敏芯股份获得发明专利授权：“一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器”_资讯

敏芯股份获得发明专利授权：“一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器”

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2026-07-15 14:37:27

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器”，专利申请号为CN202610513956.4，授权日为2026年7月14日。

专利摘要：本申请公开了一种MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器，形成方法包括：提供第一晶圆；在第一晶圆上形成第一绝缘层；提供器件晶圆，并将其与第一绝缘层键合；形成贯通器件晶圆，延伸入第一晶圆内的通孔；在通孔内填充多晶硅，以形成电连接结构；在器件晶圆上形成彼此独立的敏感结构和信号传输结构，通孔的投影位于信号传输结构的投影范围内；提供第二晶圆；将敏感结构和信号传输结构与第二晶圆键合；在第二面所在侧去除部分第一晶圆，以在第二面露出位于通孔内的电连接结构；在第二面上形成至少一个信号引出结构。本申请既能提高MEMS传感器的检测精度和稳定性，又能降低MEMS传感器的制造成本，有利于批量生产。

今年以来敏芯股份新获得专利授权13个，较去年同期减少了55.17%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了8171.88万元，同比增0.93%。

通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了14家企业，参与招投标项目29次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息520条，著作权信息5条；此外企业还拥有行政许可16个。

数据来源：天眼查APP

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