甬矽电子获得实用新型专利授权:“多功能晶圆载具和晶圆加工设备”
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2026-07-11 02:15:44
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示甬矽电子(688362)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“多功能晶圆载具和晶圆加工设备”,专利申请号为CN202521628608.9,授权日为2026年7月10日。

专利摘要:本申请提供的一种多功能晶圆载具和晶圆加工设备,涉及半导体技术领域。该多功能晶圆载具包括盖体和底座。底座和盖体可拆卸的连接;盖体远离底座的一侧设有第一放置部,第一放置部用于承载第一晶圆。底座朝向盖体的一侧设有第二放置部,第二放置部用于承载第二晶圆。底座设有进液孔,进液孔用于向第二放置部注入清洗剂。该多功能晶圆载具的第一放置部可承载第一晶圆,便于对第一晶圆进行研磨。底座也可以放置第二晶圆,用于对第二晶圆进行清洗、存储或转运,功能丰富,可适用在多种场景中。

今年以来甬矽电子新获得专利授权26个,较去年同期减少了39.53%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了2.92亿元,同比增34.55%。

通过天眼查大数据分析,甬矽电子(宁波)股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目41次;财产线索方面有商标信息169条,专利信息461条,著作权信息15条;此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源:天眼查APP

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