中芯南方申请电阻测试结构专利,减少对焊垫资源和晶圆面积的消耗
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2026-07-07 10:25:31
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国家知识产权局信息显示,中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“电阻测试结构、电阻测试方法及半导体结构”的专利,公开号CN122349347A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请涉及半导体技术领域,尤其涉及一种电阻测试结构、电阻测试方法及半导体结构,该电阻测试结构包括待测电阻结构;待测电阻结构包括不同类型的金属线或连接不同金属层的通孔;预设数量个焊垫,待测电阻结构位于预设数量个焊垫中的相邻两个焊垫之间的电路中;二极管,位于待测电阻结构与目标焊垫之间的电路中,目标焊垫为相邻两个热焊垫中的其中一个焊垫;其中,电阻测试结构用于在二极管上施加正向电压或负向电压的情况下,测量不同类型的金属线的电阻,或者,测量连接不同金属层的通孔的电阻。本申请能够通过复用预设数量个测试焊垫,对不同类型的金属线或连接不同金属层的通孔的电阻进行测试,减少对焊垫资源和晶圆面积的消耗。

天眼查资料显示,中芯南方集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本650000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯南方集成电路制造有限公司参与招投标项目156次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息129条,此外企业还拥有行政许可458个。

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目120次,财产线索方面有商标信息232条,专利信息15049条,此外企业还拥有行政许可480个。

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来源:市场资讯

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