人民日报客户端广东频道 李刚

什么是“极限施压”下的逆袭？如何孤注一掷突破“卡脖子”难题？

广州艾佛光通的故事里藏着答案。

在广州开发区艾佛光通生产车间，国内首条8英寸BAW滤波芯片量产线一片繁忙。30多道光刻工序，每一道都容不得半点偏差，因为这些芯片是智能手机的“信号守门员”，更是打破国外垄断的高端零部件。

“滤波器把你需要的信号接收进来，把不需要的信号过滤出去。”艾佛光通研发副总经理衣新燕向记者解释，一部5G手机需要二三十颗这样的芯片，分别负责不同频段。尽管我国是全球最大的智能手机生产国，但过去，高端滤波器芯片市场95%的份额被国外企业垄断。

上世纪九十年代到本世纪初，全球新兴产业突飞猛进，国外企业率先布局声波滤波芯片。当时，存在单晶氮化铝材料和多晶氮化铝材料两条技术路线，但前者制备设备远不成熟，学术界和工业界普遍认为这条路理论上存在，但实际上“走不通”。

于是，国外跨国公司选择了多晶氮化铝路线，靠先发优势拿下了多晶氮化铝技术路线几乎所有核心技术专利，并推动全球信息通讯产业沿着他们的技术路线和发展轨迹前进。

此后二十年间，中国通信产业蓬勃发展，但高端滤波芯片完全依赖进口。一部手机里的几十颗滤波器，一颗颗都要向跨国公司购买。

然而，随着贸易保护主义抬头，个别国家对我国通信产业极限施压，“断供”事件频发，让产业链切身感受到“卡脖子”的痛苦。

怎么办？绕开跨国企业的专利壁垒，国内产业界将目光投向单晶氮化铝。

多晶材料内部原子排列杂乱无章、信号传输中能量损耗大，用单晶氮化铝可以弥补这些短板。但单晶氮化铝太难“长”了。

衣新燕向记者解释：“硅和氮化铝的原子排布差异超过20%，硅片上长出来天然就是多晶。”更棘手的是热膨胀系数不匹配，“一做30多道光刻，一降温上面全裂了”。

几乎所有人都劝研发团队换研究方向，但他们自主研发了低温外延生长技术，在300摄氏度条件下把单晶氮化铝“种”到硅片上。从可行方案到实验室样品，设备换了三代，工艺推倒重来了无数次，2020年，样品终于稳定。

然而，科技成果产业化才刚刚起步。

“落户广州之初，企业面临重重困难，多亏了项目被列为省、市、区重点建设项目，黄埔区通过股权投资等方式，围绕企业诉求开展精准服务。”公司投融资副总经理黄泓竣坦言。半导体制造是资金密集型行业，创业最大的压力来自资金——从设计到制造全链条自主，意味着设备、材料、工艺全部自己搞定。“我们设备大概有三分之一是自己研发的”。这种重资产模式，对初创企业是巨大的考验。

2023年，艾佛光通产品开启大规模量产。当年营收3000多万，2024年破亿，2025年突破2亿元，今年预计接近5亿元。“每一年都翻番。”黄泓竣说。

如今，艾佛光通已建成国内领先的8英寸单晶氮化铝研发与量产平台，从材料到制造、到设备、到整个器件架构，全部自主可控，产品良品率稳定在98%以上，国内主流手机品牌都是他的用户，某农用无人机产品，原来信号传输只有4公里，用了艾佛光通的单晶氮化铝滤波芯片后，信号传输距离达到40公里。

“接下来将持续扩产拓市，让更多国内产业链客户用上高性价比国产自研芯片。”艾佛光通的管理团队信心满满，今年总投资5亿元的新产线正在建设中，未来将新增年产能30亿颗。

从跨国公司放弃的方向上另辟蹊径，从被专利封锁的困局中杀出血路，艾佛光通走过的每一步，都在回答同一个问题：当别人把路堵死的时候，中国人能不能自己开出一条新路？

车间里，一片片晶圆还在静静流转，每一片上面，都刻着答案。