红太阳光电申请管式PECVD设备喷淋进气装置专利，有效减少了工艺气体的浪费_资讯

红太阳光电申请管式PECVD设备喷淋进气装置专利，有效减少了工艺气体的浪费

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2026-06-27 00:12:03

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国家知识产权局信息显示，湖南红太阳光电科技有限公司申请一项名为“一种管式PECVD设备喷淋进气装置”的专利，公开号CN122279542A，申请日期为2026年4月。

专利摘要显示，本发明公开了一种管式PECVD设备喷淋进气装置，包括反应腔体，以及设置在反应腔体内的进气喷淋板、石墨舟和排气板；进气喷淋板和排气板分别安装于石墨舟的上方和下方，或者，进气喷淋板和排气板分别安装于石墨舟的下方和上方；进气喷淋板的进气端分别延伸至反应腔体的炉口外部和炉尾外部，反应腔体的前端设有炉门法兰，反应腔体的尾端设有炉尾法兰，炉尾法兰上设有多个抽气口；当进行工艺时，工艺气体经进气喷淋板输送至反应腔体内，向下流经石墨舟后，再进入排气板，最终由炉尾法兰上的抽气口排出。本发明具有结构紧凑、操作便捷、安全性高且气体分布均匀性高等特点，有效减少了工艺气体的浪费。

天眼查资料显示，湖南红太阳光电科技有限公司，成立于2009年，位于长沙市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本65270.9万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南红太阳光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目45次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息448条，此外企业还拥有行政许可11个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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