星曜半导体申请滤波器制造方法专利，显著提升滤波器的长期可靠性_资讯

星曜半导体申请滤波器制造方法专利，显著提升滤波器的长期可靠性

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2026-06-24 04:45:30

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国家知识产权局信息显示，浙江星曜半导体有限公司申请一项名为“一种滤波器制造方法及滤波器”的专利，公开号CN122268305A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种滤波器制造方法及滤波器，其方法包括：提供压电衬底；确定最小安全间距；通过至少两次光刻工艺，在压电衬底上形成至少两个叉指换能器图形；在叉指换能器图形上形成金属膜，得到叉指换能器；沉积焊盘金属层。本发明通过在相邻两个叉指换能器图形之间设置非零的最小安全间距，可从根本上解决因多次光刻工艺导致的滤波器芯片表面台阶覆盖不良问题。该间距能够有效补偿光刻套刻偏差，避免图形边缘意外靠近或重叠，从而将原本陡峭的台阶转化为平缓斜坡，使得后续沉积的焊盘金属层能够在台阶侧壁和拐角处实现连续、均匀的覆盖，显著降低焊盘金属层在薄弱点处的裂纹萌生风险，大幅提升滤波器的长期可靠性。

天眼查资料显示，浙江星曜半导体有限公司，成立于2022年，位于温州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2907.532389万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江星曜半导体有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息207条，此外企业还拥有行政许可2个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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