东方晶源申请用于电子束检测的场曲调节方法专利，极大地提高了调节效率_资讯

东方晶源申请用于电子束检测的场曲调节方法专利，极大地提高了调节效率

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2026-06-20 12:47:44

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国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“用于电子束检测的场曲调节方法与相关产品”的专利，公开号CN122238400A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明提供了一种用于电子束检测的场曲调节方法与相关产品。其中上述方法包括：获取用以使上偏转器和下偏转器呈预设相对旋转状态的目标夹角；控制上偏转器开启且下偏转器关闭，驱动电子束在目标样品表面上形成处于预设方向上的划刻标记；控制上偏转器关闭且下偏转器开启，通过对划刻标记成像得到划刻图像；根据划刻标记和划刻图像的相对夹角，得到上偏转器和下偏转器的实测夹角；通过实测夹角和目标夹角计算出旋转补偿角，以根据旋转补偿角控制偏转器组件运行。本发明的方案实现了场曲调节从“定性盲调”到“定量计算”的质的飞跃，极大地提高了调节效率，降低机时成本，解决了现有“试错法”需要反复微调、迭代观察、耗时极长的问题。

天眼查资料显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目50次，财产线索方面有商标信息176条，专利信息432条，此外企业还拥有行政许可18个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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