新微技术研发中心申请MEMS传感器验证设备专利，能够通过控制不同验证条件实现多种类型MEMS传感器的验证_资讯

新微技术研发中心申请MEMS传感器验证设备专利，能够通过控制不同验证条件实现多种类型MEMS传感器的验证

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2026-06-03 10:03:46

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国家知识产权局信息显示，上海新微技术研发中心有限公司申请一项名为“一种MEMS传感器的验证设备及验证方法”的专利，公开号CN122108223A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种用于MEMS传感器的验证设备及验证方法，涉及MEMS传感器验证设备技术领域。验证设备包括壳体、测试机构、驱动机构以及信号输出单元，壳体内部形成有密封腔体，测试机构位于密封腔体内且包括中心轴和多个两两相对的连接臂，每个连接臂的内部形成有气体管路，气体管路配置成可控地通入气体，每个连接臂一端与中心轴相连、另一端设有测试座，测试座用于安装MEMS传感器，驱动机构连接于测试机构的中心轴，驱动机构设置成带动测试机构的所有连接臂绕中心轴旋转预设角度，信号输出单元与当前连接于测试座上的MEMS传感器相连并用于输出MEMS传感器的检测信号。本发明的验证设备能够通过控制不同验证条件实现多种类型MEMS传感器的验证，且结构简单、成本较低。

天眼查资料显示，上海新微技术研发中心有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本144416万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新微技术研发中心有限公司共对外投资了20家企业，参与招投标项目498次，财产线索方面有商标信息52条，专利信息865条，此外企业还拥有行政许可47个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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